1. 晶圆探针台(Wafer Probe Station)
2. 射频探针台(RF Probe Station)
3. lCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station)
4. 四探针台（Four Point Probe Station,也称：表面电阻探针台）
5. 霍尔效应探针台（Hall effect measurement system）
6. 变温探针台（高温探针台、低温探针台）
7. 环境可控型探针台等型号

APS150/APS200晶圆探针台：
· 载物台尺寸： 4英寸、6英寸、8英寸可供选择
· 载物台位移：
快速移动( APS150 / APS200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm
精密调整( APS150 / APS200 )：150 X 150mm / 200 X 200mm
· 样品台旋转角： 0 ~ 30 度 （可选精密调整）
· 载物台上/下范围： 5mn
· 真空吸盘：不锈钢（可选加热吸盘）
· 漏电流低于300fA
· 显微镜台位移： 25mm X 25mm
· 显微镜放大倍率： 30-2000倍 （可由客户指定）
· 探针座数量：2-6个
· 探针座XY位移：11mm、12mm、25mm可选
· 探针座Z位移 ：8mm、11mm、12mm、16mm可选
· 尺寸： ( W / D / H )
APS150 : 580mm X 460mm X 700mm
APS200 : 660mm X 660mm X 700mm
· 重量 ( APS150 / APS200 ) : 60kg / 80kg


可选配件：
1）低电流、低电容探针/电缆
2）RF探针/电缆
3）不同工作距离和放大倍率光学显微镜
4）变温探针台
5）真空腔
6）环境腔

同时公司可以根据您的具体需求提供高性价比的客制化产品.


普西工业有限公司[PRECISION SYSTEMS INDUSTRIAL LIMITED]
网址：cuturl('http://www.ipa-china.com.cn')