低碳圈

日本爱发科（ULVAC）开发并发布了新的微晶硅层PECVD系统“CIM-1400”，用于串联结构薄膜硅太阳能电池的交钥匙（turnkey）生产线上。结合该系统，转换效率提高了30%，相对于a-Si光伏组件，每瓦制造成本降低了10%。
      a-Si薄膜光伏组件采用丰富可靠的硅材料制成，并仅仅使用很少量的硅。因此，a-Si薄膜光伏组件作为未来主流的光伏电池产品，受到了广泛的关注，并在全球大力开发。然而，因为其相对较低的转换效率，需要开发技术和制造设备来制作串结薄膜结构，在a-Si薄膜层上增加一层微晶硅层（uc-Si Layer）。
      因此，ULVAC为uc-Si开发了新的PECVD系统CIM-1400，可量产的高效的沉积uc-Si薄膜层，使得红光到红外光波长的太阳光都能被转化成电力。通过将CIM-1400 PECVD系统集成到ULVAC的串结薄膜硅电池组件的交钥匙生产线上，其电力输出与a-Si薄膜光伏组件相比，提高了30%。
       该生产线可制造光电转换效率为9％（采光面积内）、外形尺寸为1100mm×1400mm的太阳能电池模块，模块的最大输出功率约为130W。该公司现有薄膜硅太阳能电池的转换效率约为7％，最大输出功率约为100W。该公司表示，通过采用串联结构，可将单位输出功率的生产成本降低约10％。
     串联结构的薄膜硅太阳能电池由非晶硅薄膜和微结晶硅薄膜构成。其中，在仅由非结晶硅薄膜构成的薄膜硅太阳能电池方面，爱发科已经提供了13条生产线。此次通过新开发微结晶硅薄膜使用的PE-CVD设备“CIM-1400”，实现了串联结构的制造。
　　CIM-1400的特点是在6块底板上同时形成微结晶硅薄膜。在成膜室中纵向配置三个电极，将底板排列于各电极的两侧。在这种状态下，以30nm/秒的成膜速度形成1.5μ～2μm厚的微结晶硅薄膜。通过同时成膜弥补了成膜速度低的缺陷。
　　通过使用8台CIM-1400设立一条龙生产线，能够以90秒的间隔生产串联结构的薄膜硅太阳能电池。该条件下的年生产能力为32.5MW，一条龙生产线的价格约为90亿日元。当客户已导入仅由非结晶硅薄膜构成的薄膜硅太阳能电池的一条龙生产线时，追加约40亿日元的费用，即可进行串联结构的制造。CIM-1400将从2009年7月1日开始销售，爱发科力争在2009年7月起的1年内实现700亿～1000亿日元的销售额。
　　6块底板同时成膜的模块，其稳定前的最大输出功率首批为150W、149W、149W、152W、150W、151W，第21批为149W、152W、150W、152W、149W、149W。其中，对最大输出功率为151W的模块进行169小时光照使之稳定后，最大输出功率为135W。
　　爱发科还公布了今后的开发计划。将通过提高输出功率并降低材料成本，使单位输出功率的制造成本降至现有薄膜硅太阳能电池的58％。具体而言，在使模块输出功率达到147W的同时改变密封方法，并与材料厂商进行合作，由此实现目标。
      微结晶硅薄膜用PE-CVD设备“CIM-1400”的俯视图。从前至后依次为：底板送入及取出口、加载互锁室、PE-CVD室及泵类等。