小中大46. 由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产
生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作
用体积的大小。
本參考資料由下列資料節錄:
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