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标题:[未解决]请教扫描电镜和超声电镜的分辨率

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发表于 2009-10-27 11:12 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

请教扫描电镜和超声电镜的分辨率

现在的超声电镜据说可以达到100A的分辨率.而扫描电镜最大可以达到多少啊?
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-10-27 11:12 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
SEM 3.0nm是极限了，热场FE-SEM可以到2.5nm~2.0nm.冷场的分辨率更好，不过可以装配的附件就少了。
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发表于 2009-10-27 11:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
信息过时了，热场扫描电镜的分辨率已经突破一纳米了。
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发表于 2009-10-27 11:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
多谢了！
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