扫描电镜之家

求教关于扩散泵和分子泵的优劣？

据我们目前所了解，扩散泵比分子泵在开关机时间上均要长上十分钟，需要水冷系统，但在可获得的真空度方面，却要高上一个数量级。

如果仅是以上几个原因的话，那岂不是扩散泵比分子泵要更有优势啊，前后十多分钟，我们完全可以进行扫描前准备工作啊。

扩散泵需要冷却水，开关机须等待，会造成样品室污染，维护简单，费用低，不易出故障。
分子泵不须冷却水，达到工作状态快，无油，维护费用高，价格较昂贵，较易损坏（夸张了一点，嘿嘿）。
两者的极限真空应该没有太大差别。

哦。。
明白了。。
那岂不是分子泵不比扩散泵要好多少啊。

您是不是受了 日货的洗脑呢， 扩散泵是 谁都巴不得 尽早摆脱的陈货， 怎么您还当金子捡呢。
除了噪音较分子泵低之外， 扩散泵几乎一无是处。

分子泵完全取代扩散泵是大势所趋，
以前不少用户因为资金的问题而选择扩散泵，也是无可奈何的事。

我了解到一个用户，他用了三年的JSM6360LV。有经常用白色手套去摸没有发现油污。但是日本产品五年后不知道会不会出现这类问题。还有就是仪器装配也有差异，不知道大家以前用扩散泵有没有出现问题的，使用多长时间，问题严重性怎样？希望大家多多指教。

用油扩散泵太不方便了
事前开机预热10几分钟，事后冷却10几分钟
还需要冷却水，
我们SEM就是JSM-840的，1982年买的
前段时间空调坏了
可麻烦死了，电镜就不能用了

我们是专业生产分子泵的厂家 我现不说具体谁好谁坏 我只想说 分子泵是大势所趋 我们现在的一个发展方向也是 无油清洁的 分子泵 或干泵等。

以下是几种泵的资料,供楼主参考：
1．油扩散泵
优点：原则上可以抽任何不与泵油反应的气体，可长期连续使用而无需维护，便宜，因为无需特殊的控制系统。
缺点：使用液体，只能垂直安装，需要冷却水以及加热需要大量的能源，与真空系统结合处需使用液氮冷阱，防止返油。
2．分子泵
优点：方便，无需冷阱， 原则上可把系统直接从大气压抽至超高真空。但实际上由于费时太多，并且对泵体污染较大而采用两级抽气方式，首先使用吸附泵将系统由大气压抽至约10-4 mbar，然后启动分子泵。
缺点：抽速与被抽分子的分子量有关，分子量越大，抽速越高，分子量越小，抽速越低，所以持续操作后会残余氢气（或氦气）。有噪音，对工作环境影响大会产生振动，对一些振动敏感的检测手段（如STM）有很大的影响。
3．离子泵
优点 不使用液体；无需冷却水或液氮；可直接与真空系统相连 可以任意角度安装；无需预热；工作时体系与外界封闭。
缺点对真空要求高（优于10-6 mbar），否则钛板很快钝化失效对所抽气体有选择性，必须是与钛有反应的气体，对惰性气体无效。即使惰性气体暂时可以被掩埋，仍可能被轰击出来（记忆效应）溶解的氢或通过逆过程发生脱附，或与和钛结合的碳发生反应，会产生低质量数、气态的碳氢化合物，故离子泵中的主要残余气体为氢气和甲烷泵体笨重，由于需要强磁场，故需巨大的磁铁 需要数千电子伏特的高压，操作时存在危险。昂贵，需要特殊的控制系统。
4．升华泵
特点：辅助主泵，不可连续使用，在对真空要求高的实验中，可将真空进一步降低到～10-11 mbar数量级；便宜；体积小。

扩散泵比较便宜，几乎不出故障，不需要维护。
分子泵很贵，会出故障，但是维护也不是特别麻烦。
扩散泵有污染问题，但是对一般电镜应用也不是特别严重。至于真空度差不多。
对一般使用十几分钟也不是很大问题。
分子泵除了贵，还有有振动问题。