扫描电镜之家

感谢大家光临此贴，我的具体问题是：
我知道在做聚焦是相当于在调节物镜，请问物镜是怎么工作来达到聚焦的功能呢？还有我们通常调的Shitf X,Y/Tilt X,Y 分别作用在电镜的哪个部分，他们是怎么工作的呢？
谁有电镜内部真实结构的照片么？从来都没有看过，很好奇！谢谢大家了~~~

Shitf X,Y/Tilt X,Y.. 以及其他的旋钮都是围绕样本台来配置的,通过这些来调整chamber里sample的最佳成象位置,可用来消除shadow及level stage...
至于里面的结构,其实也很简单.. 就是magnetic aperture, 都是线圈.. 看了也没用, 另外如果有机会可以趁VENDOR维护仪器的时候,让他给你详述!

全是镜筒里的线圈干的。线圈通电产生磁场从而改变电子束的运动方向。改变方向了就可以改变焦距。也可以改变电子束的倾斜和平移，甚至明暗对比都可以改变。焦距，消像散，对中灯丝，明暗对比，都是通过镜筒中的线圈控制的，镜筒里面有很多种线圈

shift X/Y tilt X/Y是用来调节灯丝对中的（电器调节），一般设计在电子枪阳极的下面。聚焦是改变物镜线包电流值，从而改变物镜的励磁，以实现电子束焦距的改变。至于再细节的，你可以看看相关书籍，其实原理很简单。

这些功能都是在更换了新灯丝之后要做的事情。属于对灯丝的微调。换新灯丝要调好机械对中后，微调才能起到作用。Shitf X,Y调节电子束在水平方向移动到透镜的中心，Tilt X,Y调节电子束在电子枪内的运动轨迹与水平面垂直。这些调节最终是通过相关线圈完成的。

我这里截了一张扫描电镜内部光学结构图片，给大家参考一下！