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标题:[未解决]溅射仪镀金一次有多厚？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
风大[使用道具]
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发表于 2009-10-29 10:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

溅射仪镀金一次有多厚？

rt，这个和镀金时间和电流有关系，但具体关系有谁知道吗？大概的厚度能知道吗？
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雀巢咖啡[使用道具]
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发表于 2009-10-29 10:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我问日本电子的工程师，他们也不知道，后来问日本那里的工程师，也没有给出个明确答案。一般大概3-4nm
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xx_liu[使用道具]
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发表于 2009-10-29 10:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
15ma,60s 镀金 10nm,日立工程师说的
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发表于 2009-10-29 10:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
与样品放置的位置有关，在确定的位置和电流下，与时间关系有一条曲线
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发表于 2009-10-29 11:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
不超过１０ＮＭ的
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发表于 2009-10-29 11:12 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
貌似和样品高度也有关系，不同厂家的产品也有一定差别，真空度的高低是不是也有影响？
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发表于 2009-10-29 11:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
好像镀金厚度与电流，时间有关的，各厂家应该有说明
个人感觉好像也与样品表面到金靶距离有关吧，不知是否准确
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发表于 2009-10-29 11:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
看一下说明书， 里面应该有个线形图， 可根据时间和电流来决定膜厚
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发表于 2009-10-29 11:16 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
日立工程师胡扯，大该在3－4nm
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蛋糕[使用道具]
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发表于 2009-10-29 11:16 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
电流越大，溅射下来的金颗粒越大，在同样的时间下就越厚。
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