小中大七.在本届展览会上,在电子光学仪器方面,各家公司都看好经济快速发展,科学技术更加受到重视的中国市场,因此都不遗余力在展会上推出其最新的产品,来吸引中国客户的注意。
下面对几个主要公司的主要产品作一简介,供国内广大用户参考:
1、FEI公司简介:
FEI公司是一家在纽约NASDAQ上市的高科技公司, 是 “TOOLS FOR NANOTECH” 解决方案的创新者和领先供应商, 主要面向半导体、数据存储、结构生物学、材料和工业领域。
FEI公司由荷兰飞利浦电子集团电子光学公司(PEO)和原美国FEI公司于1997年合并而成。荷兰飞利浦电子集团是FEI公司的最大股东。
飞利浦电子光学公司的历史已经超过半个世纪。1949年, 它向世界推出了第一台商用透射电子显微镜 “EM100”。五十几年来, 致力于开发电子显微镜技术和产品, 先后设计制造了EM200系列、EM300系列、EM400系列、CM系列和全数字化的Morgagni、Tecnai系列透射电子显微镜, 以及SEM500系列、PC机控制的XL系列和最新的Quanta、Nova NanoSEM系列的扫描电子显微镜, 是举世公认的电镜产业领袖之一。1996年, 飞利浦电子光学公司购并了专门从事环境扫描电子显微镜(ESEMÒ)技术研究开发的美国ElectroScan公司, 并设计制造了XL ESEM环境扫描电子显微镜。
原美国FEI公司成立于1971年, 最初致力于提供场发射材料。1981年, FEI开发成功了 “液态金属离子(LMI)源”, 1989年成功生产了世界第一台 “聚焦离子束(FIB)” 工作站, 为今天日益兴旺的聚焦离子束设备奠定了基础。
1999年, 新的FEI公司成功收购美国另一家FIB设备开发生产商Micrion公司。使新的FEI公司成为世界领先的电子显微镜、聚焦离子束以及 “DualBeam(双束, 即电子束+离子束)”设备的开发制造商,它的不少技术已经成为行业标准。FEI公司在高端扫描电子显微镜和透射电子显微镜领域市场占有率超过70%,而聚焦离子束以及双束设备领域全球占有率超过90%,。
FEI公司在全球有员工1700多人, 其中研发人员超过400名。2006年销售额近6.5亿美元。
目前FEI公司产品主要包括:
- 扫描电子显微镜。包括: Inspect系列扫描电子显微镜, Quanta (FEG)系列环境扫描电子显微镜, Nova NanoSEM系列场发射扫描电子显微镜。
- 透射电子显微镜。包括: Morgagni透射电子显微镜, Tecnai G2系列透射电子显微镜和, Titan 80 - 300系列透射电子显微镜。
- FIB设备和DualBeam设备。包括: Helios NanoLab系列Nova NanoLab系列,Strata系列, Vectra系列, Expida系列。
FEI香港有限公司是FEI公司在中国(包括香港和澳门)的分支机构, 全面负责其产品在国内的销售和售后服务。目前设有北京、上海、香港、广州和武汉五个维修站, 有售后服务工程师25人;有应用工程师3人,其中TEM 1人, SEM/FIB 2人;在北京和上海办公室设有零备件仓库,另在上海外高桥保税区设有零备件保税库。另外, FEI公司在亚太地区的新加坡、日本、韩国、台湾等地设有零备件仓库, 通过计算机网络系统在区域内快速调配。为更好地服务于国内快速发展的市场,FEI公司于2007年初成立了飞雅贸易(上海)有限公司(FEI Trading (Shanghai) Co., Ltd.),并在上海建有全球第四个应用实验室FEI NanoPort Shanghai。
FEI最新的透射电镜Titan 80-300特点:
- 面向下一代的透射电镜平台,2004年开始进入市场,2006年世界上第一台分辨率优于0.5埃的Titan 80-300面世。
- 在电镜基本系统上可选配一到二个球差矫正器,和/或单色器。
- 加速电压范围80- 300kV。对80kV、200kV和300kV均进行了优化设计,一台电镜相当于购买了三台高、中、低压透射电镜。
- 优异的亚纳米分析能力:束斑尺寸<0.1nm时,束流仍可达60pA,电子束能量分辨率优于0.12eV。
- 完全的数字化成像,操作者从此告别观察荧光屏的时代。
FEI最新的超高分辨场发射扫描电镜Nova NanoSEM特点:
- 世界上唯一在高、低真空条件下均达到1nm分辨率水平的肖特基场发射扫描电镜。在纳米尺度下进行种类最广的材料表征、分析和原型加工。
- 世界上首台具有大于100nA束流的超高分辨率场发射扫描电镜,无论高、低真空下都具有优异的分析能力。
- 最宽的着陆电压范围:50V – 30kV。
- 灵活而稳定的独特纳米加工平台:能按客户苛刻的加工要求进行电子束沉积纳米原型加工或电子束曝光。