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标题:[未解决]样品台事故，请大家发表看法（JEOL 6490）

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发表于 2009-10-30 11:51 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

样品台事故，请大家发表看法（JEOL 6490）

我们公司的JEOL-6490 在操作过程中，由于样品台失控，导致了样品台和镜筒的接触。具体事故过程如下：
放样品--抽真空--Z向移动样品
就在Z向移动的过程中样品台突然失控，鼠标和操作台均无法实现对样品台控制
（以前也出现过，不过是水平方向移动失控，所以当时没在意）
停机后从新启动机器，发现Z值与实际值偏差很大，如图：

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发表于 2009-10-30 11:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
已经向JEOL 报修，还未回复；
大家觉得可能是镜子的哪个方面出了问题？
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发表于 2009-10-30 11:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.
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发表于 2009-10-30 11:54 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
有装背散射电子探头吗？那个东西很容易被撞坏的
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发表于 2009-10-30 14:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
样平台重新初始化下，位置就应该准了。貌似不是很大的故障吧
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发表于 2009-10-30 14:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #5 物联网 的帖子

样品台和镜筒发生碰撞也不算很大的故障？？
你知道样品台正上方的那些都是什么组件么？
坏一个就1万多美元。。。。
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发表于 2009-10-30 14:10 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
6490的样品台控制通信是很脆弱的，不是电脑中毒了吧，致使通信出错？
初始化之后看看结果如何
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发表于 2009-10-30 14:13 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我们的镜子也出现过水平失控，水平失控倒不可怕
就怕碰坏了BSE探头
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发表于 2009-10-30 15:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
没啥经验和把握的话，把那电镜工程师找来先
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发表于 2009-10-30 15:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
一般有限位开关，厂商应该考虑可能出现这种事件，应该预先避免大的事故出现，
否则，吃不了兜着走了！
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