小中大关于SEM的消象散问题
小弟的机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能,只能在低倍下可以用,高倍的时候图像很模糊(如5K)
还试了对照直方图调,也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整,还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下,发现清晰很多,在7k下基本可以看清,但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法,现在机器就我自己用,调不好,自己受苦。
另外,我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同,我的设置分别是7和87,LOAD CONDITION是2和82,后来我干脆改成3和78,感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗?请大侠不惜指教,万分感谢。