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标题:[未解决]关于SEM的消象散问题

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
番茄[使用道具]
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关于SEM的消象散问题

小弟的机器是日立S-34OON。最近不小心转乱了调象散的旋钮。
我试了机器的自动调试功能,只能在低倍下可以用,高倍的时候图像很模糊(如5K)
还试了对照直方图调,也不行。
还试了X,Y数值一点一点的调整,还是没什么进展。
最后在condition save里无意发现别人保存的一个condition, 我load一下,发现清晰很多,在7k下基本可以看清,但是更高倍数下就是模糊。
请教一个方法,现在机器就我自己用,调不好,自己受苦。
另外,我发现我LOAD的 condition和我本来的只是GUN BIAS 和ALIGMENT不同,我的设置分别是7和87,LOAD CONDITION是2和82,后来我干脆改成3和78,感觉跟清晰了。难道这个对解决象散有帮助吗?请大侠不惜指教,万分感谢。
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下雨[使用道具]
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日立S-34OON是W灯丝的吗,在这之前换过灯丝吗?请从新对中灯丝再试。
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小猪妈妈[使用道具]
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3
 
没有亲手操作过日立的电镜,以下操作仅供参考。
1、灯丝对中调整,将灯丝像调整到显示屏中心。首先将灯丝电流加到第一饱和点,此时灯丝像为类一字形,将类一字形的中心调整到屏幕中心;然后将灯丝电流加大第二饱和点,此时灯丝像为鸭蛋形,在将鸭蛋的中心调整到屏幕中心(此时,调整幅度应该不多了,如果第一饱和点处的像调整好了,此步基本上可以不再作调整)。如果上述仍然无法调整,可以考虑重新装配灯丝,在体式显微镜下或放大镜下将灯丝初步调整到栅极孔的中心,保证灯丝的初步对中。
2、像散调整。首先在样品上找到某一特征物并在某一倍数下聚焦,观察图象的畸变情况。如果图像向X方向或Y方向畸变,相应调整X、Y像散,在调整过程中如果图像畸变越来越明显而没有改善,则说明调整方向错误,请向反方向调整,直到图像清晰。然后再加大放大倍数,重复以上聚焦、调整过程。一般来说,对钨灯丝在80~100K的放大倍数下,图像无畸变了基本上可以认为像散调整的差不多了。(此时图像不一定是清晰的,要获得清晰图像可以调整相应的工作距离,同时注意样品的特性和电镜的束斑)。
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tudou[使用道具]
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4
 
像散是磁透镜磁场的中心轴不对称造成的,从一个园光斑发出的电子经过该磁透镜后聚焦不是一个园光斑,而是十字方向拉长的椭圆斑。造成最终束斑尺寸加大,影想图像清晰度。
一般只物镜带有有消像散器,用于消除物镜附近污染所致的静电场干扰,
但像散还存在于聚光镜,还有整个镜筒污染造成的静电场对电子束的干扰,影响光源的对中,这种不能用电器消除的干扰,最后只能采用清晰镜筒的办法来消除。其次除了物镜以外的干扰和加速电压也有关系,加速电压越低干扰越明显,图像质量越差。
楼主改变的参数电子枪偏压电阻、电对中,在一定程度上消除了电子枪和镜筒污染造成的干扰
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heyang[使用道具]
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5
 
考虑清洗镜筒吧。
请问楼主,你们电镜买了多长时间了,没有清洗过吗?据我所知S-3400价格不菲,要充分发挥其效能呀!
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番茄[使用道具]
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6
 
买大概不到一年吧。当时厂家来只是调试好,都没有培训。我也是刚开始学这个东西才一个星期,估计以后就专门弄这个仪器了。所有想系统的学习一下。
请问怎么清洗镜头啊?多长时间清洗一次?
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番茄[使用道具]
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7
 

回复 #4 tudou 的帖子

我有一事不明,我只是调了操作盘面上的X,Y旋钮之后图像变的模糊不清,理论上再把X,Y旋钮调到我调整之前应该就可以了吧。请问X,Y旋钮控制的是物镜的消象散器吗?如果不是,那是什么?
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12388[使用道具]
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8
 
HITACHI的3400是钨灯丝的吧?
1)重新安装灯丝,对正灯丝尖端;
2)加电流,某高压,把灯丝像调到图像正中,记录Tilt或Shift的XY数值及枪高压;
3)一千倍左右调节光栏对中;
4)放大调焦,8千倍左右消象散;记录消象散器XY数值;
现在你得到的是在某电压下的较好的状态,你要做的是看手册或问老手,把数据存储到电镜软件里面去,不要怕多动手,没出保修期的时候更要蹂躏!
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番茄[使用道具]
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谢谢各位的热心帮助!
现在已经不是象散的问题了!1.自动合轴失败;2.调到最小物镜光阑孔径,图像更模糊;3。我们的灯丝已经近10个月未更换了,也没有做任何清洗任何元件的措施;4.低倍,最小孔径,发现光斑偏在一边,无法聚到中心位置。

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12388[使用道具]
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一样一样来,不要企图上来就能全部调整好。
严格按照操作说明书,
理解不理解都按照操作说明书走。
除非说明书叙述不清楚。
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