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标题:[未解决]请问电子枪高真空抽不上怎么回事？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
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发表于 2009-11-13 09:37 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

请问电子枪高真空抽不上怎么回事？

电子枪部分高真空一直抽不上去，抽半天一天都不行，真空参数一直在0.48-0.52Pa之间，正常时5-6分钟就可以了，究竟怎么回事？那位知道的大侠请告之。
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发表于 2009-11-13 09:38 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
补充，低真空很快就抽上去了（两分钟不到），就是抽高真空时一直停着不动。
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发表于 2009-11-13 09:38 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
请问您的扫描电镜的什仫型号
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发表于 2009-11-13 09:38 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
是电子探针，JXA8100
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-11-13 09:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
很小很小的漏气?
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发表于 2009-11-13 09:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
样品仓的漏气，检查样品仓密封圈，舱门处有没有杂质等
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发表于 2009-11-13 09:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
可是样品仓的真空度已上去了，压力已低于0.3Pa，达到工作条件了。但电子枪室的真空度只有0.52Pa，怎么抽其压力值都下不去，这还会是样品室漏气么？
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-11-13 09:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
检查样品仓密封圈
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发表于 2009-11-13 09:40 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我以前也遇到过这样的问题，你可以试着将样品室和电子枪室的密封线圈拆下来擦干净，再装上，涂上真空脂！
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发表于 2009-11-13 09:41 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
谢谢！！！
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