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标题:[未解决]HITACHI S-3400无图象

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
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发表于 2009-12-8 11:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

HITACHI S-3400无图象

我们用的SEM型号是HITACHI S-3400，今日正在使用EDS测试成分（样品为镀锌钢板），突然SEM就没有图象了，但是发现电流还是有的，65A左右，请问是怎么回事？
请高手指教，谢谢！
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 11:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
是在使用EDS的外部控制吗?如果是,一切正常
如果不是,可能是软件问题,重启一下就好.
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发表于 2009-12-8 11:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
没有动EDS的东西，正在做线扫描，突然EDS提示出现问题，我一看SEM没有闪动，没有图象了，软件重起后还是没有出现图象，但是电流还是有的，请问是怎么回事？
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heyang[使用道具]
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发表于 2009-12-8 11:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我这也是刚买回来这台S3400N这台机，还没碰到过这种情况呢！有时间我们可多多交流下
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发表于 2009-12-8 11:34 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
好的，我对SEM不是很熟悉，有空向你请教请教
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heyang[使用道具]
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发表于 2009-12-8 11:34 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
能谱是什么型号？现在能正常工作吗？
实在不行，让能谱和电镜分开看看
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发表于 2009-12-8 11:34 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
能譜是HORIBA EMAX
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heyang[使用道具]
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发表于 2009-12-8 11:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
可能发生的原因是在做能谱分析（点，线，面模式）时电镜在ext（外扫）模式下，此时能谱控制电镜电子束的扫描，如果突然出错，可能会造成SEM保持在外扫模式下，而能谱由于软件出错，未能发送结束外扫的信号给SEM，造成SEM没有图象，当然只是本人猜测而已！
解决方法可以拔掉能谱接到SEM的图象接口一般在3400镜筒后下方，标注为VIDEO的BNC端口，然后重启电镜试试看！如果正常，重新插上BNC恢复能谱图象连接即可！
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 11:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
出现问题的各位稍安勿躁，不是电镜的问题。涛兄说的对。把电镜和能谱都断电，然后再开机，一般能解决问题。
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