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标题:[未解决]环扫? 低真空?

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
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发表于 2009-12-8 14:23 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

环扫? 低真空?

环扫和低真空都号称能不喷镀就直接观察不导电的样品,哪个更好? 对维护有无特殊要求? 环扫和低真空现在买的都很多了, 但不知用下来实际效果如何.
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:24 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
两个是一样的，只是电镜品牌不同，叫法不一样。
环扫是FEI的专利，低真空是LEO的特色吧？其他厂家也有，不知道是不是都叫LV？
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

回复 #2 xuzj1979 的帖子

这位专家说得对。环扫是FEI的一种功能，它除了在低真空下，还要加水蒸汽。低真空LV方式是不加水蒸气的，具有LV功能的SEM现在各个著名厂家都有。效果不是很理想。
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
专家谈不上，我只是转述罢了。加水蒸气不就是为了让导电性增加么？低真空不能有痕量水蒸气吗？LV不理想何在呢？
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
没错， 但其实 精确点讲叫可变压力。
不同型号电镜可以下到不同深度的压力， 压力越深对探测器的要求就越高。
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:25 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
没错， 但其实 精确点讲叫可变压力。
不同型号电镜可以下到不同深度的压力， 压力越深对探测器的要求就越高。
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发表于 2009-12-8 14:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
呵呵，是啊，如果真能在线完全环境复制扫描就太牛了。
谢谢你的讲解，这下懂了
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xuzj1979[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
您太客气了，嗬嗬，我也是道听途说啊！
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发表于 2009-12-8 14:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
留心处处皆学问啊 :)
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-12-8 14:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
环扫除了加水以外，还可以加氧、氮氢等气体。加水蒸气不是为了让导电性增加。
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