扫描电镜之家

分子泵～

从实际的图上看结构,分子泵分为上下两部分结构,大家知道上下两部分各自的作用是什么呢?还有有没有注意到上面部分的结构有金属杆,它有什么用,金属杆下面的那个有圆圆的东西又是什么??

还有一个问题,就是仪器关机时分子泵会发出很大的气流声,这是为什么,有什么意义?


欢迎各位发表高见!

发表点拙见，嘿嘿
上面的部分应该是波纹管，用来连接分子泵和样品室
下面的部分才是分子泵的泵体
金属杆的意义应该是保持抽真空时分子泵的相对位置，防止波纹管过度收缩吧？
关机时分子泵发出的气流声应该是在破真空，使叶片的速度降下来直到静止。
欢迎各位指教

呵呵,不错,接近正题了,但还没有说到实质,大家加油啊!

这的确是分子泵的结构图,上层是分子泵的叶片,叶片之间的间距很小,下层应该是高速电机,其全称应该是涡轮分子泵,其原理和飞机的发动机类似,主要是靠叶片的高速旋转,将空气分之甩出,从而达到抽真空的目的

扩散泵也是分子泵的一种吧。

这是一张分子泵的剖面图

分子泵由转子rotator和定子stator组成，一个转子和一个定子组成一级stage，通常一个分子泵有13级，每个定子和转子上都有很多的叶片vane, 20到60片，每一级的叶片的倾斜的角度有所不同。

分子泵之所以叫分子泵是由原因的，它利用了物理学的碰撞原理。
1，分子撞击在第一级的转子的叶片上，由于叶片有一定的倾斜角，这样大部分撞击在转子叶片上的分子就往第一级的定子走。同时由于转子高速转动，1万到5万转/分钟，这样就使分子以更高的速度向第一级定子飞去。
2，定子上的叶片也有一定的倾斜角，这样就使分子往下一个转子跑。即使有分子往上一级转子跑，也会被上一级转子上的叶片弹回来。
3，如此反复，分子就被赶出去了。

综上所述，分子泵得工作在低真空1E-2 torr（所以不可在大气压下就开分子泵），有很高的转速，1万到5万转/分钟（所以在开腔时，一定要在分子泵完全停止时才可以往真空腔里充气）。分子本的转速，级数的多少，转子的直径和厚度决定了分子泵抽气的速度。

由于靠撞击来工作，所以对同一分子泵来说，要使其有相同的抽速，就得使用不同的转速。