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标题:[未解决]关于分子泵的维护

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
阿九[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

关于分子泵的维护

我的扫描电镜经常在开机抽真空或使用过程中分子泵的高压保险丝断丝，原因可能是电源不稳定（供应商说，我们还有UPS）或分子泵中有外物掉入，我用电镜也有4、5年头了，第二种可能性居多，但我自己从未拆过分子泵，也从未见过供应商拆过分子泵，请问谁有拆过分子泵的经验，能否将具体的细节告之，我知道各仪器不同会有所区别，我只要参考下，以及特别需要注意的环节。
希望有人能给予帮助！

谢谢！
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阿九[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:10 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
据说是真空继电器坏了
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风大[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:11 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我拆过EDWARDS的和VIRIAN的增压分子泵，用过德国ZEISS电镜，原英国LEO电镜和LEICA电镜也有四年了。
听您的解释﹐我感觉是真空管路的泄漏﹐不像是分子泵本身有问题。
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小猪妈妈[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:11 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
千万不要自己拆分子涡轮泵，有多少年经验都不能拆，分子涡轮泵需要调节动平衡的，我认识的一个人就自己动手，结果开机以后把分子涡轮泵打的稀八烂。强烈注意。
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风大[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:14 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
感谢您的警告
增压分子泵只有两种工作状态
1﹐工作正常
2﹐根本不工作
如是第二种情况﹐原因可能有两个
1﹐分子泵本身有问题﹐需更换分子泵
2﹐分子泵控制器有问题﹐需更换
这个控制器很容易鉴别﹐电缆的一端连接在泵底部﹐另一端就连接到控制器
另楼主朋友﹐您怀疑的两种原因都会直接导致分子泵的第二中工作状态﹐我仍然怀疑是真空管路泄漏
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小猪妈妈[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
分子涡轮泵一般都是换，没有在现场修的。
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风大[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
你测一下电镜的低真空度就可判断出分子泵系统的工作环境，协助你判断故障原因。
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发表于 2009-12-8 15:15 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
哎 所以说一般钨灯丝扫描电镜还是不要用分子泵的好,机械泵+扩散泵也够了.
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阿九[使用道具]
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发表于 2009-12-8 15:16 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
谢谢大家，是真空继电器的问题，换了一个好了。
另外我用的机械泵是ALCATEL PASCAL2010I型，以前用ALCATEL专用油120型，冬天不知道是机械泵的问题，还是油太稠，老是烧保险丝，并冒白烟，后来换了个机械泵，改用上海一家研究所产的真空油，用了两年了，现在废气也是白色的烟，检查油量满足，本想将油都放出来澄清过滤一下，但机械泵放油口没有专用工具，橡胶塞都快磨坏了也打不开，不知道大家有没遇到过这现象，是不是油老化了？
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小猪妈妈[使用道具]
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 小中大
请检查机械甭上的 AIR BLLAST 设置， 这个钮一定要在关的状态
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