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标题:[未解决]聚合物薄膜 的红外测试求助

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
美丽婷婷[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:22 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

聚合物薄膜 的红外测试求助

用匀胶机在硅片上旋涂得到的有机薄膜。拿去红外测试居然和空白硅片谱图差不多。不知道什么原因。
我的是40nm，不知道是不是太薄了。一般测红外有机薄膜得 厚度 要多少。有谁知道。谢谢啦
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双_视野[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:22 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
有没先做空白扣除呀！薄了你扫描次数多几次，要不你再制厚的样试试嘛。你测测保鲜膜有多厚，我测它的红外都是直接测的。
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莫莫莫[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
40nm是太薄了。另外，请问你是做的透过还是ATR？你的硅片多厚？
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千里之外[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:29 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
ATR可以测了。40nm也够了，硅片做透过好像不行
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grace![使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
ATR的测试深度在0.25微米到2.5微米。你的薄膜只有40纳米，底下的硅片也被红外测试了，而且占大部分。所以你的图和空白图差不多。
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巅峰时刻#-#[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:37 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我个人觉得，楼主这个样品，单点ATR做不出，多点ATR也一样做不出。这不是薄膜太薄信号弱的原因。关键是薄膜下面的硅片起了干扰作用。所以就算是多点采样，同样不能避免硅片的干扰。
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hero_b[使用道具]
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发表于 2013-5-2 22:42 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
原则上来说，SI确实没有红外吸收。但是，用硅片做ATR，确实有红外谱图出来。你自己做一个就知道了。
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