气相色谱

急需三氯氢硅合成液及成品分析条件，希望能详细介绍一下，包括样品处理，进样器选择，三氯氢硅总是堵针头，有没有什么好办法？进样后废液怎么处理？

具体参数不大清楚，不过可以确定是气相色谱法，用TCD检测器，进样必须得用一次性注射器，用完一次就扔了的，没办法，不能用玻璃微量进样器。废液不能再化验室处理，要集中到车间去处理，进样时注意带护目镜。样品用完最好放置在有冰袋的盒子里冷藏~

建议用ICP分析！具体可以查相关方法！
希望对你有用！

呵呵，楼主是分析TCS的什么？分析纯度还是里面的杂质？分析纯度用TCD就行了，分析杂质含量最好用FID，如果还要精确的话用GCMS做分析更好了！不同的分析仪器分析方法大同小异，毕竟都是气相色谱分析。

样品堵针头，没办法，国产针质量很差，基本上都是一次性的，稍微好点的针你想重复使用必须进完样品后立刻先用1:1的无水酒精和丙酮的混合液清洗，再用丙酮溶液清洗，最后用真空泵抽干，或许可以重复使用，不过相当麻烦，一般像我们公司用的话都是用的一次性针，20多块钱一支，用了就扔，偶尔还有针质量不好的直接废掉，感觉就很浪费，呵呵。至于样品，由于TCS是决不能接触空气和水的，所以最好不要长时间放在实验室内，一般样品少的话先放通风橱内，等一定量了一起拿到你们特定的地方处理，我们公司是有个专门的装置用来处理废弃的TCS和STC的，我们都是等一定量了自己倒了就行。

最好不要选用自动进样器，最好人工进样，因为TCS对样品瓶的盖子腐蚀很严重，有可能会抽不上样品的。希望这些对你有用，有问题再交流。

进样针一次性的消耗好大啊，有没有更好的办法啊？

过程色谱仪在多晶硅工业上的应用

过程色谱仪在多晶硅工业上的应用
PGC Application on Polysilicon Industry;
                           杨 飞
推荐这篇文献给楼主 希望能有所帮助

氯硅烷分析为了确保样品不水解而失真，在取样和进样上需要采用密闭进样，进样后的废液可以回收集中起来，在现场碱液处理或者与取样装置的氯硅烷一起集中回收也可以。

氯硅烷在化验室分析目前就是以色谱法为主，在线分析近些年已经开始从色谱转向其他方法，如近红外和质谱。