小中大可以这样做:
inserting condeser aperture and alignment
finding eucentric height,
gun alignment,
condenser astigmator,
pivot point shit,
pivot point tilt,
rotation center alignment
?objiective astigamator
物镜像散是最后一步,要把前面的光路对中好,聚光镜象散消掉,然后在正焦状态下消物镜像散,使条纹像刚好消失即可。也可以在最高倍数下,将电子聚到最细,然后稍稍隆低Z高度,将衍谢环调圆即可,此类似于CCD中FFT变换消像法