小中大一, 首先是要改善样品室的真空卫生。
1, 达到尽可能高的真空度,一般使用要优于2x10-5Pa(使用SIP和TMP的)。
2, 不要用手去接触放入真空中样品杆的前端部分,即橡皮圈之前。
3, 样品杆长期在大气中暴露,尤其是在雨季或潮湿地区,吸附在上面的有机物很难在短时间内被抽走,这样放入样品室后就会在一定程度上破坏真空度。有条件的话最好配备一个样品杆预抽机,不使用的样品杆可以先放在这里预抽保持干燥,同时有的样品杆预抽机还带有烘烤功能,这样更有利于污染物的挥发,像JEOL的JDS-230F (GATAN的带吗?我没用过)。没有的话,最好在把样品取出后再将样品杆放回到样品室保持在真空状态。
4, 对于使用DP作为样品室预抽的最好不要超过10分钟,太长油蒸汽多少会污染一些样品。
5, 样品杆放入后不要马上将灯丝或电子枪隔离阀打开,因为在插入的过程中多少会人为的造成一点泄漏,即使看着真空度很好,最好再等待1~2分钟,等真空稳定后再观察。
6, 使用ACD抗污染装置,每天早上的第一件事就应该将液氮加上,它不仅有利于样品室的真空卫生,而且对SIP的寿命也是有好处的。它的有效工作时间是7~8小时,所以在中午吃饭前为了确保下午工作不受影响,应该将ACD再补充满液氮。当然别忘了,下班前的最后一件事就是要将加热棒放入ACD将剩余的液氮考出来,切记!!!
7, 1~3个月要将镜筒烘烤一次,一般在周末BAKE 60小时左右。