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标题:【求助】325nm拉曼光谱测硅片问题请教

purrr[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:27 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】325nm拉曼光谱测硅片问题请教

标签：测硅  拉曼  噪音

请问有人用325nm的拉曼测过硅片没有。我测得时候全是噪音，500附近啥都没有，怎么对焦都不行，请问测过的人又没有什么技巧可以分享一下，怎么测硅信号。我主要是想知道表面信息，所以采用325nm。我的样品是多层膜，Si/Al2O3/Si/Al2O3...，每层只有几个纳米。大虾/大牛啥的，帮帮忙哈。非常感激~~~~~！！
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豆龟[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:27 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
楼主说的硅片是单晶硅吧？单晶硅容易氧化，在表面形成一层氧化硅的薄膜，325纳米激光的穿透深度浅，会被阻挡，所以不容易测出单晶硅在520的信号，还有就是用紫外的时候要采用紫外专用物镜。

虽然难测，但是还是可以测出来的再调一下光路试试吧。

不过测你的几个纳米厚的多层膜就很难逐层测出来了。利用光的穿透深度首先Si层都很难穿透，就算穿透了，拉曼在纵向的分辨率在2微米以上，对于几个纳米的厚度根本分辨不了。
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发表于 2014-9-6 17:27 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
用325nm激发光源，显微镜摄像头采用激光聚焦的方式，不是用白光聚焦，用激光光斑聚焦，很容易就可以聚焦到样品上
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purrr[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:28 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
增加积分时间呢，60s
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feima+[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:28 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
是用的紫外镜头么？用的是紫外的光路么？
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feima+[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:29 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
还有就是要选用对的光栅哈
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toy[使用道具]
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发表于 2014-9-6 17:30 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
增加曝光时间试试
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