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标题:[未解决]【转载】【求助】XPS和AES求助

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
jkh123[使用道具]
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发表于 2014-10-1 20:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】XPS和AES求助

样品是一个成分梯度变化的薄膜，做了一个AES深度分析成分，成分在梯度方向有变化，但成分与实际情况很不相符（严重偏离化学计量比）；由于经费和仪器的限制只做了一个薄膜的表面成分分析，发现和希望的很接近。是否可以用XPS去标定AES呢？这样的话结果会和当初设计制备的样品较符合。
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jkh123[使用道具]
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发表于 2014-10-1 20:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
请高手指教啊。
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发表于 2014-10-1 20:57 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
XPS 对于深度分析问题不大，对于定量分析，它是否属于半定量？还是GDS-OES最准确。
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jkh123[使用道具]
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发表于 2014-10-1 20:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
XPS属于仪器定量，属半定量的。。。。。。主要用于表面的成分，结合离子溅射的话还可以对多层膜进行剖析。。。。AES主要是对表面的进行一个微区分的分析各有优势，整体的来说看你针对什么样品了，总的来说，我人文AES好点。。。。。。。。。
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