小中大在19世纪后期 和20世纪初期,物理学家就研究过原子荧光现象,创立了著名的马氏试砷法。
1956年,Alkemade用AF研究了火焰中的物理和化学过程。
1962建议将AF用于化学分析。
1964年,温福德纳(J.D.winefordner)和维克斯(T.J.vicker)提出并论证了AF火焰光谱法可作为一种新的分析方法。
1964年后,特别是美国的 winefordner小组和英国的west小组对AFS 进行了广泛的研究和改进。
1969年加拿大学者霍拉克(W.Holak)首先创立了氢化物-火焰原子吸收光谱法测定砷。
在1974年Tsujii和Kuga把氢化物发生进样技术与无散原子荧光分析技术相结合, 首次实现该分析技术。
1977年建立了无极放电灯为光源的无色色散原子荧光实验系统。
70年代, 我国提出了利用KBH4与酸反应产生的氢气来产生氩氢小火焰, 大大简化了仪器装置
80年代中期,这种很有潜力的技术基本上停止不前。
80年代中期,在研究脉冲供电的空心阴极灯特性的基础上,试制成功供原子荧光用的空心阴极灯。