小中大【转载】【求助】绝缘样品的AES测试
各位好,我们想测氮化硅(电阻率非常高,几乎绝缘)的元素分布规律,想利用AES,听说AES测试样品需要有一定的导电性,我以为是因为导电性不好的话,会放电,然后无法利用二次电子像观察样品。所以在做之前就吧氮化硅样品上喷了层薄薄的金,然后在进行AES测试时,利用Ar离子从表面的金开始向内剥离,谁知道剥离掉金,开始测试氮化硅的时候,出来的信号很奇怪,谱线左侧的噪音很大,测试老师说这样的样品不能测,结果没法用......。
我想问问各位专家,我的样品是不是没有办法做AES,还是要选择一个怎样的测试条件,或者制样方法?谢谢各位。