透射电镜之家

如题请解答。。。。。。

哥们我看你在SEM版，问TEM怎么调能谱的高压和束斑，在TEM版问SEM怎么调能谱的高压和束斑，这，是不是发帖时开小差了，呵呵

在TEM下，一般高压调得不多，除非样品特别易受损伤或者为了降低样品本身不存在的峰，如Cr、Fe等，至于束斑嘛，目前用的日本电子的设备有一个EDS模式，可以选择不同尺寸的束斑

是我写错了，应该问同一个问题。阁下的回答就是我的问题。还请问：1，做能谱分析是否一定要用EDS模式；2，束斑最小可以是多少？谢谢

FEI的电镜是几年前上学时用过，用的是F20，具体怎么操作以及记得不太清，但是FEI是没有EDS模式的，日立的电镜用的是很老的，没有配能谱，其他的电镜没用过

日本电子的EDS模式其实就是使用小角度的会聚光，不一定要用EDS模式，在TEM模式也是可以的，但是在TEM模式不知道束斑的尺寸，在EDS模式，束斑尺寸有几个档位，0.5nm、1nm、2nm、3nm、5nm、10nm、15nm、25nm，不过即使选择0.5nm的束斑，由于光的色散、棱镜以及设备本身的局限性，束斑的尺寸会扩展到1nm甚至是几个nm

谢谢阁下回答，有问题再请教。

在TEM里 HT高压是可以调的 不过因为调节高压后 电子波长改变 磁透镜的汇聚焦点发生改变 所以 需要重新进行系统光路合轴 通常 如果需要的话 FEI的电镜 可以预存几个常用电压的合轴
束斑 可以通过Gun lens或者spot size进行改变 这个很容易实现 主要是通过在condensor聚光镜部分 改变磁透镜强度 来实现光束的不同程度的会聚 投射到样品上 束斑大小可以进行控制

谢谢回答。