透射电镜之家

JEM-1200EX透射电子显微镜故障维修几例


        JEM-1200EX透射电镜是80年代日本生产的比较典型的大型精密仪器产品，该产品由日本电子公司1986年生产，在使用过程中总体性能还是相当稳定的，但是由于工作时间较长，仪器先后发生了一些故障，现将出现过的几例故障维修简单介绍如下：供版友们同行参考。

故障一

【故障现象】：

    电镜正常工作中突然高压断掉，控制台上所有指示灯均熄灭，显示屏也不亮了，但此时可以听见照相室内的机械传动机构，发出不停地机械传动声。

【分析】：

     照相室有机械传动声，说明总电源并未断掉，有可能是部分电源出故障了。由于故障时正常工作中突然出现的，而且涉及到控制台所有指示灯及显示屏。因此分析故障原因不是某一单元的局部电路导致的，应该出在公共电源部分。

【处理及排除】：

    经顺着电源电路仔细检查，结果发现+5V供电电源保险丝F19已经熔断了，用同规格保险丝更换后，+5V电源恢复正常，指示灯和显示屏也恢复正常显示，故障排除电镜恢复正常工作。

故障二

【故障现象】：

    电镜工作正常，高压突然跳掉，电子束束流和偏压指示灯不亮，其余指示灯完全正常。将电镜电源关闭一段时间后，再开机，工作20多分钟后，又重复出现掉高压故障。

【分析】：

    从故障现象分析，与电镜没开电源时的状态基本相同，估计故障出在透镜电源部分。由于出现周期性故障复发，也有可能是某种原因导致电镜发生过载或过压保护状态。

【处理及排除】：

    首先检查透镜电源保险丝是好的，说明未发生电源过载故障，电源应该是没有多大问题。进一步分析其他原因，看电镜是否处于保护状态。由于故障不是马上出现，电镜能正常工作20多分钟，可以推断是电镜的某个部件在工作一段时间后，受温度影响而发射变化出现异常。电镜的一些部件（如内部精通物镜线圈和离子扩散泵）用冷却水来控制的，如果冷却水供给系统有故障，就会降低冷却作用，是有关部件温度过高，温度超温开关（传感器）动作时电镜处于被保护状态，因此重点检查冷却水循环水器是否正常。

    检查冷却水循环水器的水温控制器指示不对。一般水温控制在18-20℃，而这时温度指示器是27 ℃，显然温度过高，冷却水的冷却作用降低，电镜处于保护状态，将指示器重新调至18℃，镜电恢复正常工作。

故障三

【故障现象】：

    电镜“ready”灯不亮。高压不能加上，电镜无法工作。

【分析】：

    电镜“ready”灯不亮，分析可能是真空度不足，电子枪气体室的氟利昂气体压力偏低及电子枪上相连的微动开关短路等原因。其中最大的可能性是的氟利昂气体压力偏低，因为该压力随着电镜使用时间会慢慢降低的。

【处理及排除】：

    首先检查真空度是正常的，电子枪微动开关也是好的，但此时电子枪气体室氟利昂压力为1.7（压力表指示值），根据手册“6-3-1”章节介绍，其压力低于1.7时需及时补充氟利昂。经补充氟利昂气体使压力升至到1.7以上，电镜“ready”灯恢复点亮，电镜恢复正常工作。

故障四

【故障现象】：

    观察中由于闪电引起突然停电，再开机时发现打印机不停输送打印纸，其他均未发现异常。

【分析】：

    从故障现象看故障在打印机系统，或打印机相关的驱动电路及打印机街口单元。

按下键盘打印键，打印功能完全显示在显示屏上，由此判断电镜打印功能是正常的。

【处理及排除】：

    关闭打印机接口电路板的电源，打印机仍然不停地送纸，从而判断故障出在打印机本身，故障发生在打印机驱动电路板（PTR DRVER PB），通过对电路的分析，故障极有可能出现在马达驱动电路上，而马达驱动电路又由三个三极管TR15、TR16、TR17（2SA1051）组成。用万用表分别测量三个三极管，结果发现TR17的CE间被击穿短路，由于无同型号三极管，故用2SA733替换2SA1051更换后，打印机恢复正常功能，故障排除。

赞叹！可以做技术顾问了。

已经用了26年了啊

冷却循环水温过高导致的自动保护掉高压，我也遇到过，一次停电后马上来电，导致循环水主机和辅助泵的保险丝都断了，主机的很快检查出来，修好后温度显示是20度。但辅助泵的一直没检查出来，实际是冷却功能一直开着，但冷却的水一直没循环到透镜，导致周期性掉高压。后来工程师检查出又是保险丝的问题。突然停电害死人啊。电镜主机有UPS，冷却水机器也该去配个UPS了。
电镜型号日立H-7650

最简便的方法就是经常用手摸一摸冷却循环水箱的出水管，感觉一下出水和回水的温度，这样可简单判断冷却状况。