小中大哎,怎么问这种问题啊?!
SEM:Scanning Electron Microscopy 扫描电子显微镜
TEM:Transmission Electron Microscopy 透射电子显微镜
前者,主要看表面形貌,收集反射束,可以收集二次电子,背散射电子,也能收集特征x射线(EDS),当然还可以收集俄歇电子(AES)。Hitachi有一款利用In-lens机制的超高分辨率扫描电镜Super-SEM,理论放大倍数能到200万倍,中关村纳米科技中心有一台。
后者,主要测晶体结构,收集透射束,一般用作电子衍射,相貌像,高分辨像。透射束中电子分弹性散射,非弹性散射的(看下图)。弹性散射的电子可作Z衬度像,也叫HAADF像High Angle Annular Dark Field高角环行暗场像,是STEM像一种。非弹性散射电子可以做EELS,Electon Enengy Loss Spectrum,也可作EFTEM像,Enengy Filter Transmission Electron Microscopy,能量过滤像。也可以收集特征X射线作EDX,空间分辨率比SEM高。TEM制样比较复杂,得到的信息解释也相对复杂。
还是多看书吧,很简单的!