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标题:[未解决]怎么测微米厚度薄膜的XRD

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
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怎么测微米厚度薄膜的XRD

大家好,我有一个大约一微米厚的薄膜,现在想测试XRD, 表征薄膜的取向特征,但是我发现试样太薄了,怎么测都没有信号出现呀。
想请教大家有没有什么好的解决办法。
谢谢啦。
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nodoor[使用道具]
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TEM是不是更好一点
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我感觉TEM只是测试的一个很小的范围,不能表征薄膜的整体取向特征的。
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可以采用掠入射的方法对薄膜进行测试
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road[使用道具]
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掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗?那个角一般是多少比较合适呢
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QUOTE:
原帖由 road 于 2010-12-2 21:08 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
掠入射就是用一个很小的入射角来测试吗?那个角一般是多少比较合适呢

是XRD对于薄膜样品的仪器,叫GID,掠入射小角X射线衍射。
需用专门的仪器。
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掠入射角一般在0.5到1°之间,根据膜的厚度来调节角度,膜厚角度可以适当大点
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Andrew[使用道具]
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其实用普通模式也可以的,估计你的问题是薄膜没有对准到光路中
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对准后我们几十纳米的薄膜也能测试出来的
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天蓝[使用道具]
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看薄膜是什么成分了~~

如果是高原子量的元素组成的~

质量吸收系数就很高~~

1微米应该算是infinity thinkness了

可以常规测试出来~~

如果你测了不出峰,可能是薄膜中晶粒取向太好.

只有用GID了~
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