扫描电镜之家

实验室这台冷场发射扫描电镜S-4800已经使用了两三年了，上次烘烤完感觉还是可以的，但是今年二月初刚烘烤完，发现拍出来的图片质量不佳，象散也很难调好（在大概200K的时候），忖度也不行，（烘烤完已经机械对中过了），有哪只龙虾章鱼大闸蟹之类的遇到过这类问题，或者是比较了解扫描电镜的？我这只旱鸭子现在就多多指教啦！所有会水的愿意赐教的留个言吧，wag wag~

几个原因，慢慢分析排除试试看：
1. 真空，你说刚烘烤过，应该没问题
2. 灯丝，冷阴极的灯丝，应该很耐用，再说4800拍20万，小菜。
3. 样品，可以通过标样，或者喷金试试看，如果喷金后的颗粒仍然不佳，不知道是不是光路上有污染导致的了。如果标样很清晰，那么跟样品有关了。

1.真空没问题，IP1达到0.0E-8；2.以前拍20万的时候确实比较容易的，但是现在没那么轻巧了，不知道是不是灯丝的问题，这个灯丝好不好怎么看呢？；3.样品在做之前已经喷过铂金了，不会是光路污染什么的吧？那如果是又该如何处理。

我没有怎么用过这个型号，具体怎么处理不是太清楚。不过sem也就那几个地方能出问题，都基本类似。灯丝的问题不清楚，发射电流都没问题的话，可能问题不大。
你可以拿一个金在碳上的标样，尝试拍拍高倍。如果WD在2-3 mm左右，20万还是不清楚，可能真的和光路的污染有关系了。比如你们是不是常看一些含水或者有机物样品，如果真是这样，可能需要清理光路，也可能多做两次烘烤就会好，不过具体的处理最好问问工程师。

我没怎么用过，不是很熟悉这个参数。如果flash的频率频繁，可能真的是烘烤不足或者样品产生的污染气体多。
虽然8 mm的确够拍20万，但建议放低到3-5 mm，我记得甚至可以到1.5 mm，只要样品表面平整，应该不是问题。仪器是拿来用的，合理范围内完全不要担心。

另外，刚才你说灯丝用了两年多，也有可能电子束斑的大小不能控制那么小了，因为SEM的分辨率跟电子束斑有很大关系。不过这要等你拍了标样的照片才能确定。

冷阴极没有这么快，因为不用像热阴极一样24小时点着，据说4-5年没问题，别太担心。