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标题:[未解决]请问如何制备AAO模板断面扫描电镜样品 ?

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倾轻地[使用道具]
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请问如何制备AAO模板断面扫描电镜样品 ?

在AAO模板孔内镀了两层膜,AAO是带有铝基的单通模板,孔径为50个nm,孔深1μm,所镀膜层厚度约为10nm(只是理论估计),我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况,如何在不损伤膜的质量的情况下获得比较好的断面?求高人解答。

[ 本帖最后由 倾轻地 于 2015-1-16 16:30 编辑 ]
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雨儿[使用道具]
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硫酸铜不行,得用氯化盐,铝表面有氧化层,硫酸铜无法与铝反应。我们一般是饱和氯化铜或者四氯化锡,不饱和浓度大点就可以,滴到背面反应就是,直到铝被去掉,然后用称量纸包住氧化铝模板碾碎撒到扫描的台子上,蒸金看,在电竞下总会找到一个侧面的
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落叶无声[使用道具]
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现在液氮里冻一下再掰断
我这FIB和TEM都有,不过做电子材料的。以前没有接触过有机的。不过别的FIB能做到的我都应该能做到。要学习下,哈哈哈哈。
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我是夜猫子[使用道具]
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我以前总是用一台很旧的FIB制有机的TEM样,累死了。关键在于有机材料太容易变形了,即使用液氮冷却的低温样品台。也许现在的机器能方便点。呵呵,有兴趣可以试试。
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倾尽温柔[使用道具]
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掰断或碾碎,在电镜下找断面看或者直接扳断然后贴在竖着的样品台上,如果要科学一点,就在液氮里面脆断,但是我觉得没那必要
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舞疯[使用道具]
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带基板的确实有点麻烦,液氮脆一下掰断试试吧,要还不行可能要用激光啥的切开了
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翔少爷[使用道具]
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可以采用激光切割,比较科学和可靠,一般做TEM的实验室都有这个,SEM实验室很少有这个。
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小米粒[使用道具]
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方法一:将膜(基面)用502胶或者其他万能胶粘在玻璃片上(或者其他硬质易掰断的材料如PMMA板、硅片),在玻璃背面用玻璃刀划一道,再掰断,AAO也就一起断裂了。

方法二:将膜浸入液氮,等几乎无气泡逸出后,用镊子的直边掰断。

方法三:将方法一中粘有AAO膜的基板,按方法二在液氮中掰断。

。。。

另外,最平整、无应力的制备方法应该是离子束抛光。不过你这个应该用不着。
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星星……[使用道具]
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用聚焦离子束FIB制样,可以保证制备到含孔的TEM样品,非常方便。
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kaixinjiuhao[使用道具]
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单纯为了看氧化铝的断面直接去掉背铝就是,饱和氯化铜或者氯化锡,然后掰碎
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