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标题:[未解决]日立s4800的场发射扫描电镜求助！

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发表于 2015-1-16 20:31 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

日立s4800的场发射扫描电镜求助！

系里面买了一个日立s4800的场发射扫描电镜，按说此仪器很好，能够放到到10万倍应该没有问题。实际情况在放大2万倍左右很方便的拍出图片，可是一旦到5万倍图片就模糊不清楚，10万倍更是拍出图片不能用。在每次聚焦时候图形乱晃动，好像是聚焦不好的样子。现在害的我只能去外校一个最大放到2万倍的地方测扫描。我系s4800一般用电压1千伏，外校2万伏。不知道和这个有没有关系。


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2015-1-16 20:31
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发表于 2015-1-16 20:31 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我在北师大做的4800的SEM,可以放大到11万倍没问题.
电压可以根据样品不同调节.

图像飘是不是样品导电不好?喷金试试.
还有调像散了吗?
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明灰灰[使用道具]
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发表于 2015-1-16 20:34 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我也碰到过这个问题，导电性不是太好的样品做SEM事后，电压大一点，到一定的尺度图片就会飘起来。。。
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发表于 2015-1-16 20:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
样品需要调节象散等...操作。
按照仪器操作说明来，
S4800放大到30万倍都可以。
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发表于 2015-1-16 20:41 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
二次电子分辨率指标
• 1.0nm(15kV@WD=4mm)
• 1.4nm(1kV@WD=1.5mm 减速模式）
• 2.0nm (1kV@WD=1.5mm 普通模式）
放大倍率
×20~×800,000
电子枪
冷阴极场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV(0.1kV/step，普通模式）着陆电压0.1~2.0kV(减速模式）
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发表于 2015-1-16 20:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
明显导电不好么  哎  这些人啊  在测试之前好好的看看原理啊~~~
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发表于 2015-1-16 20:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
S4800不懂哎，要是JEOL的，我想在30k下都没有问题，之上需要wobbling 调节，
再上高倍数会好一些。看看说明书吧
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发表于 2015-1-16 20:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
最近在学操作电镜，略懂一点。
看不清楚的原因1、可能是样品导电性不好，可以喷金试试。
2、喷了金还是不清楚，可能是样品跟样品台接触不好，我们老师一般让我们用砂纸磨，用酒精擦。
3、有时要想看清一些，可以把工作距离调小一些，本来你们电压低，距离又小，结果可能看不清了
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fantacy[使用道具]
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发表于 2015-1-16 20:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
刚买的机子,公司的工程师不给你们做标样,你们就验收了?  如楼上的大侠们说的,你的样导电性不好.还有就是你的工作电压好像比较低.  S4800新机子的话上10万应该没有问题的.
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hey_bye[使用道具]
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 小中大
20kV加喷金，自然信号好了。你的用1.0kV, 其实最简单就是拉低工作距离（wd），增加二次电子的稳定性。
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