X-荧光

LIBS和XRF相比，很多方面相似，优点是相比XRF能检测轻元素，能做微区分析。但是定量准确度依然不高，这能否代表LIBS有代替XRF做某些应用的潜力？

各有各的优势吧 在某些大规模商业化运行还要未来很长一段时间 xrf技术发展这么多年 在技术领域应用这块做的也是很强了  你说的轻元素 微区分析 做不到准确定量分析 比起icp aas afs有一定的差距的话 替代的意义感觉就不是很大哦

第一次了解一下：
激光诱导击穿光谱技术（laser induced breakdown spectroscopy）简称LIBS，是一种光谱探测技术。基于高功率密度的激光作用在样品表面，产生激光诱导等离子体，通过探测激光诱导等离子体中的原子和离子谱线，来确定样品的成分组成的一种光谱分析工具。
但是据说检测范围为10ppm至%级别具体还要取决于元素及仪器配置，想彻底代替XRF可能还需要很漫长的过程。