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标题:[未解决]【转载】【求助】能简单说说X荧光测膜厚的原理吗?

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
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发表于 2015-2-1 16:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】能简单说说X荧光测膜厚的原理吗?

不同的测厚设备有不同的原理, X荧光测膜厚的原理是什么呢? 能简单说说吗?
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艰苦奋斗[使用道具]
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发表于 2015-2-1 16:56 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
XRF测量金属薄膜厚度的原理是利用X射线的能量激发样品中的金属元素使它产生特征X射线荧光，通过检测器检测到荧光的强度来计算金属镀层的厚度。具有非破坏，快速简便的优点。检测的范围大约从0.01到100微米，根据元素不同会有所差异。
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风往尘香[使用道具]
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 小中大
但要注意压片时如果太薄，出来的样片效果可能不好，会影响的到测定结果
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 小中大
对于指定样品镀层成份及厚度的样品，可以在理论上计算样品中各元素的荧光强度（基于基本参数法）。反过来，通过实际测量的荧光强度，可以计算样品镀层成份及厚度。基本参数法的准确性直接影响镀层厚度计算的准确性。
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发表于 2015-2-1 16:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
搭车问个问题
只有一个标样，能做工作曲线吗，误差应该很大吧
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happydream[使用道具]
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发表于 2015-2-1 16:58 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
看你用的是哪家的仪器了，很多时候，所谓的单标样也不是真正的单标样，只是对客户来说是单标样，实际上，仪器厂家已经对仪器用大量标样标定过，客户再用一个标样来校准一下就可以了，表现在单标样.
分析精度只能看你用的是哪家的仪器，差别挺大的.这种方法主要还是应用FP法有分析基础.
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发表于 2015-2-1 16:59 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我们这里用的是日本horriba（掘厂）的。厂家自带了几个标准镀层厚度的片子。

可以建曲线。

不过感觉测定这个不太靠谱，只能算附带的一个功能。
精确测定金属镀层厚度的结果还是令人怀疑。

曾经测定过一组镀金的厚度，然后与金相显微镜的结果作比较
有的准，有的不准，不晓得为啥。
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jiankufanhan[使用道具]
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发表于 2015-2-1 16:59 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
Horiba的儀器不是專業測厚儀。只是個附帶功能。需要用專業的Ｘ射綫測厚儀才能準確測量鍍層厚度。
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jiushi[使用道具]
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发表于 2015-2-1 17:00 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
好像精工有专门的测膜厚的XRF。
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nmn[使用道具]
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 小中大
Horiba的儀器不是專業測厚儀。只是個附帶功能。需要用專業的Ｘ射綫測厚儀才能準確測量鍍層厚度。
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