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标题:【求助】EDX能谱模式

yazi[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】EDX能谱模式

转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事
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yuanyuan[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:09 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集
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冰激凌[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:10 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
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jishiben[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:11 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

基本不用环扫，但这个镜子的LV模式我们还是有用的，我们有一些样品表面氧化或腐蚀后导电性不好，在LV下看更好一点。
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n111[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:11 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料
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QQ爱[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:12 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
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兔子[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:12 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。
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小女人@[使用道具]
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发表于 2015-2-5 15:13 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强，BRUKER的强得多，为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。
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