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标题:[未解决]如何用红外光谱测定薄膜厚度？谢谢。

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
chun-e-fu[使用道具]
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发表于 2011-1-3 16:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

如何用红外光谱测定薄膜厚度？谢谢。

请教红外光谱高手，告诉我如何用红外光谱测定薄膜厚度？
好像有人这样做。
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kingber[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:03 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我知道测试厚度用薄膜测试仪比较多，就不知道你什么样品，如果硅片行业我知道有很多用红外来测试的，可以查看具体国标《GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》

希望对你有用！
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张汝君sandy[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
好像是利用干涉条纹来测定的，只是听说过一次，不记得了。
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chun-e-fu[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:37 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
谢谢您，不过我想知道用傅立叶红外是否可以来测定薄膜厚度。

干涉条纹可以测量液体池的厚度，但是聚合物薄膜如何产生干涉条纹！

[ 本帖最后由 chun-e-fu 于 2011-1-3 17:40 编辑 ]
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张汝君sandy[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:42 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大


QUOTE:
原帖由 chun-e-fu 于 2011-1-3 17:37 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
谢谢您，不过我想知道用傅立叶红外是否可以来测定薄膜厚度。

干涉条纹可以测量液体池的厚度，但是聚合物薄膜如何产生干涉条纹！

看来是我记错了。但压片的时候厚度小于0.5mm时也会有的干涉条纹，不知道能不能利用？
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ross_racheal[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
利用干涉原理测量，国外专门的红外膜厚测量系统，像jasco日本分光的，可以做到最小250nm。常规红外加反射附件也可以做，基本只能做到毫米级。
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lian1982800[使用道具]
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发表于 2011-1-3 17:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
用光声光谱可以吧
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