小中大【转载】【求助】四极杆真空度问题
仪器型号:Agilent7700
故障表现:1.待机状态下,IF/BK真空度1.22Pa,四极杆真空度1.56×10-5Pa. 数值稳定
2. 点火顺利,稳定后,IF/BK真空度3.08×102Pa,数值没有波动;四极杆真空度在1.16×10-4到6.0×10-4Pa之间波动,不能稳定,添加到队列后熄火。有时候更是点火后四极杆真空度一直升高直至熄火
问题:什么原因导致四极杆真空度波动?是我的锥孔变形了吗?目前手头上没有新的锥进行验证。还会不会有其他方面的原因?
另:过年放假仪器关机了10天左右,放假回来开机前更换了泵油。泵油是2天前换的,然后一直待机状态。仪器今天中午11点30分点火,然后本人就去吃饭去了,下午1点半回来工作没有发现熄火。但当时没有注意真空度的问题。
高手来帮忙解答下,领导一直催结果,揪心........