电分析

最近做了一下xps测试，给了xls格式的xps数据，由于是第一次接触，对文件里面的内容无从下手。请指导入门，文件里面每一部分是代表什么

怎么给你解释呢，最基本的吧，survey表示全谱扫描，用来确定测试区域都有哪些元素，根据你的材料及XPS系统自带的手册，你应该知道有哪些元素。例如，你的样品测试区表面含有C、O、Ti、W四种元素，于是测试人员又为你对这四种元素进行了各元素特征峰的高分辨扫描，也就是O1s、C1s、Ti2p、W4f这4个excel表。同时，为了避免由于样品测试区表面污染物的影响，测试人员又用XPS系统自带的离子枪对样品测试测进行溅射刻蚀，把表面进行清洁，测试样品内部的元素分布，所以有了刻蚀10s和刻蚀40s的曲线，这样可以测试出各元素原子百分比沿深度分布。当然，如果需要仔细研究各元素的化学态，还需要利用XPS手册中各元素的标准峰位值对各元素进行详细分析。

O1s和C1s之间不就是Ti2p么

我明白你的意思了，你是说Ti2p的峰很弱。的确Ti2p的峰很弱，可认为没有，我也不清楚测试人员为什么要做Ti2p的高分辨扫描。或许是你想做Ti掺杂，所以测试的时候告诉测试人员要做Ti2p的高分辨扫描。但是由于你没有掺杂进Ti元素，所以峰很弱，近似为零。

magrog(金币+2): 是的，是想掺杂二氧化钛的，是否可以根据原子百分比得出氧化钨和二氧化钛的含量百分比呢？ 2011-10-19 19:43:19
一般来说XPS测试时如果样品中某种元素原子百分含量小于1%，那就可以认为测不出来。你的谱线中Ti 的峰实在太弱了，原则上可以认为是0，可以认为你没有将Ti 元素掺杂进去，所以无法计算氧化钛的含量，只能给出氧化钨的含量。最后一个名为at.%的excel文件中就是不同深度处各元素原子百分含量，Ti 只有0.2%左右，这也就是强行标定出来的值，如果是自动标定，根本就没有Ti 。你理论上掺入多少Ti

谢谢，我现在不理解为何要进行分峰处理，比方说我这这次测试的W，还需要进行分峰处理吗？

如果某元素的化学态不是单一的，就需要分峰，如果化学态是单一的，就不需要分峰。一般来说，除了单晶材料内部，或者单质材料内部，元素的化学态都不是单一的，例如WOx，x=0.5、1、2……时，W的化学态不一样，就可以进行分峰。你看看你的W/O比是多少，是否随深度变化，就知道W是不是单一化学态了，而且看看材料的晶体结构，如果似乎结晶态，可能是单一化学态，如果是非晶态，就可能是多化学态混合，例如可能有单质W和WOx的混合等等。具体的多看文献吧。

你好，请问怎么进行分峰处理呢？我看了一些学习教程，对分峰处理的具体操作还是不具体。

分峰呢，比较麻烦，如果用专用软件，往往效果不佳。我一般都是用Origin手动分峰，没有固定规则，具体问题具体分析。