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标题:[未解决]【转载】【讨论】RF功率越大,等离子体温度越高吗?

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longquan[使用道具]
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【转载】【讨论】RF功率越大,等离子体温度越高吗?

RF功率越大,等离子体温度越高吗?
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a456[使用道具]
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在其它条件不变的情况下,功率高,温度高。
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应该不是,功率要适用,功率大也会带来仪器部件承受能力
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回复 #2 a456 的帖子

不知1200W跟1300W温度相差大概多少?
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回复 #3 ay123 的帖子

不考虑其它条件,只考虑功率跟温度的关系。是不是功率大,温度高?
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回复 #4 longquan 的帖子

没有比对过。要想测等离子体中的温度有难度。
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longquan[使用道具]
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回复 #6 a456 的帖子

普通用户想要测等离子体温度确实有点难度。可以参考此帖。cuturl('http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20121001/4274410/')
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ayanyang[使用道具]
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还真没有测试过,不过我们用低功率的稳定性明显好很多。
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ay123[使用道具]
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回复 #8 ayanyang 的帖子

长期高功率,仪器估计也经不起长期折腾
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没错。RF功率越高,在负载相同的情况下,等离子温度越高。
参考:Inorganic Mass Spectrometry: Principles and Applications
作者:Sabine Becker
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