X射线多晶体衍射（XRD）

我溅射制备GaN, 做xps测试的N1s谱，分峰后除了397ev处的GaN, 在394-395ev之间有明显的峰位，在各种手册中都查不到峰的归属，做了几个样品，都有，为什么？我的邮箱

bsjia@163.com  ,如果有人能接到，我将非常感谢。另外，本人刚接触XPS,有一些问题希望能够得到解答，谢谢！



1. C1S校正问题。测试给我的数据中包含所测元素的窄谱和C的窄谱。所给我的数据是否是已经经过C1S校准的？分峰处理前是否需要将所给我的数据都减去C的数据呢？ 所给我的仪器测得物质原子比都是我所要求的几种元素，不含C元素的比，但是有一个样品却列出了C所占的原子比，这是为什么？



2.分能级的问题。如As 3d 5/2 和3d 3/2 , 是测的As 3d,然后自己分峰获得5/2和5/3呢，还是测的时候直接就测3d 5/2 和3d 3/2 ？ 测试者给我的数据包含仪器测得的原子比有的写As3d5,有的写As3d.  但是excel数据窄谱都写的是3d.



3. 分峰的时候半高宽有的太大，如N1s有的已经超过了3.5，我看有的书上说半高宽一般不应该超过2.7？ 我有的弱峰很扁平，半高宽达到10甚至20以上，是否有意义？



4.分峰的时候，一组数据分一个峰，分2个峰，谱图拟合得都很好，怎么选择啊?



5.给我的窄谱有没有可能包含其他元素的俄歇峰？



6,全谱扫描给我的一些数据的意义不是很清楚如：Area (P) CPS.eV    Area (N)        At.%      PP At. %      F      Q    SF        TXFN    Backgnd        PP Height Counts  PP Hgt (N)

是否可将图贴上来？

我已经将数据贴上来了，麻烦您帮我看下

另外我还有几个问题不太清楚，希望您能帮我解答一下，非常感谢！

你上传的数据我暂时看不了，只能对你所说的问题给出简略回答

1.C的窄谱是否和标准谱一致？如果和标准谱一致，则不需要校准；如果有偏差，通过以下途径判断给你的数据是否经过校准，如果所有峰都向同一方向偏离标准谱，则没有经过校准；否则为经过校准的数据。

2.如果给你的excel数据只有3d数据，需要你自己进行分峰处理。测试者给你的数据为仪器自带软件处理结果。

3.半高宽过宽的原因有很多，我怀疑你的N1s过宽的原因是仪器的原因；20ev的没有意义，可能是噪音造成的。

4.根据你做的材料进行判断到底该分1个峰还是分2个峰。观察两个峰的积分强度是否符合材料的大体量比。

5.通过换靶可以判断是否有俄歇峰。

6.全谱扫描符号的意义可谷歌之。

1.校正过没有，你看你的C1S峰位，如果在284.6----285附近，这说明测试人员已经给你校正，你没必要在校正了。



2. 这个是测试时候测试人员方便的问题，有的时候如果As化合物比较复杂，这个时候5/2和3/2重叠交大，只能用As3d定量，如果相隔较远，就可以用3D5/2定了。如果想分峰，肯定是自己分峰。

分峰的时候要考虑其物理和化学意义，不是说你想分几个就可以分几个，详细的我发过相关帖子。伴峰宽超过3.5肯定没有意义，要重新考虑分峰。

楼主给 的只有N峰，所以我不知道你的样品还有什么元素，400附近最可能的就是Mo的次主峰。所以你可以提供你的样品有什么元素，或者主扫图，我们就可以给你判断