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标题:[未解决]哪里有椭偏仪或者其他测薄膜厚度的仪器吗？

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
巅峰时刻#-#[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

哪里有椭偏仪或者其他测薄膜厚度的仪器吗？

请问各位大侠，我在ITO电极上电聚合形成了薄膜，但是用SEM拍薄膜厚度时总拍不清楚，于是想用其他方法测量厚度。请问有谁知道上海哪里有椭偏仪或者其他测薄膜厚度的仪器吗？
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hero_b[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
利用台阶仪测膜的厚度，因为膜不是平滑的，所以得到是膜的大致厚度范围。
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迷糊小鬼[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:29 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
多厚的啊，怎么会拍不清呢，椭偏啥的要在电镜校准的前提下才可信的嗯，因为毕竟是间接信息，和不同物质性质也有一些关系的
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apple_danny[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
80 nm 到100 多纳米，拍SEM 时，低倍下能看得清楚，越是放大就越糊了，小于1 微米就看不清了，拍了一下午，真是伤不起
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today@[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:35 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
传图看看吧，导电固定都要做好，另外要问下你电镜型号，场发射应该能看的，虽然这个范围有点难度
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未完~待续[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:36 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
利用台阶仪只能给出一个大致厚度，你在所得图上找出厚度相对均匀的一部分，取几个数据求平均值就是了。抱歉，我知道的就这些！
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80年代的人[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
可以用我们实验室的试试～小光斑应该有效，不过样品有多不均匀啊
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be!smile[使用道具]
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发表于 2015-5-10 22:42 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
您不用尝试台阶仪了，肯定不准确，它的测量精度取决于样品制作台阶的质量，并且是一种接触式测量会影响薄膜质量。
我们对于薄膜分析有很多解决方案，均是非接触式无损检测，精度在0.25%以下，同时还有小光斑测试（测试微小区域薄膜厚度及其NK参数）。
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