【求助】场发射扫描电镜的定性及定量原理

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标题:【求助】场发射扫描电镜的定性及定量原理

跳跳哈里[使用道具]
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发表于 2015-6-2 13:16 资料个人空间短消息加为好友

小中大

场发射扫描电镜的定性及定量原理是什么?
谢谢!

qinqinai[使用道具]
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发表于 2015-6-2 13:17 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

电子显微镜(简称电镜，EM)经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。我国的电子显微学也有了长足的进展。电子显微镜的创制者鲁斯卡(E.Ruska)教授因而获得了1986年诺贝尔奖的物理奖。

aaby[使用道具]
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发表于 2015-6-2 13:17 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

电子与物质相互作用会产生透射电子，弹性散射电子，能量损失电子，二次电子，背反射电子，吸收电子，X射线，俄歇电子，阴极发光和电动力等等。电子显微镜就是利用这些信息来对试样进行形貌观察、成分分析和结构测定的。电子显微镜有很多类型，主要有透射电子显微镜(简称透射电镜，TEM)和扫描电子显微镜(简称扫描电镜，SEM)两大类。扫描透射电子显微镜(简称扫描透射电镜，STEM)则兼有两者的性能。为了进一步表征仪器的特点，有以加速电压区分的，

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发表于 2015-6-2 13:18 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

超高压(1MV)和中等电压(200—500kV)透射电镜、低电压(～1kV)扫描电镜；有以电子枪类型区分的，如场发射枪电镜；有以用途区分的，如高分辨电镜，分析电镜、能量选择电镜、生物电镜、环境电镜、原位电镜、测长CD-扫描电镜；有以激发的信息命名的，如电子探针X射线微区分析仪(简称电子探针，EPMA)等。

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发表于 2015-6-2 13:18 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

然而，对SEM的机械设计如试样台的漂移和震动等尚未给予足够的、如对扫描隧道显微镜那样的重视、二次电子探测器的信噪比和反差还不够理想，也影响了分辨本领。此外，SE分辨本领的定义和测定方法，SEM图像处理等也不如透射电子显微镜那么严格和完善。这些问题的解决必将进一步提高SEM的图像质量和分辨本领

zouyou[使用道具]
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发表于 2015-6-2 13:19 资料个人空间短消息加为好友

小中大

【回复】

空间分辨本领已优于0.2μm，比原理相似的电子通道图样(ECP)提高了一个量级，在0.4秒钟内即能完成一张衍射图样的自动定标工作。英国牛津集团显微分析仪器Link-OPAL公司的EBSD结晶学分析系统，目前已用于Si片上Al连线的取向分析，以判断其质量的优劣及可行性。