气质联用能用来测定CVD反应室内气氛组成或尾气组成吗

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标题:[未解决]气质联用能用来测定CVD反应室内气氛组成或尾气组成吗

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maicaixiaogu[使用道具]
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发表于 2009-2-21 12:28 资料个人空间短消息加为好友

小中大

请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内的气氛组成吗?

或者分析尾气气氛组成。

我没有用过，麻烦各位介绍详细点，谢谢!

TTEWEE[使用道具]
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发表于 2009-2-24 16:26 资料个人空间短消息加为好友

小中大

不知道你是打算等反应结束了测上方气体?

还是打算测量气体在线变化?

前者的话好办，直接取样就可以了。

后者需要不间断取样，不过要经过色谱柱，分离时间比取样间隔长的话，就要祈求所采样品不会发生变化或者吸附。

还有一种在线质谱，不经过色谱柱直接进样，不过不适合大分子量和复杂体系分析。

楼主还是查查文献或者自己多思考一下吧。

kflsjjfdl[使用道具]
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发表于 2009-2-25 14:05 资料个人空间短消息加为好友

小中大

应该能够分析尾气成分的，但是需要知道大致是什么，因为这牵扯到选择什么样的检测器和载气