小中大 你的真空系统故障，真空系统返油，污染了镜筒腔室。这需要专业人员来系统的恢复，包括清洗整个镜筒，样品室内壁\样品台,真空管路，以及检修真空计，真空控制电器。扩散泵(DP)真空系统一般就是监测低真空度，达到扩散泵启动真空度后，采用延时器来估测高真空，扩散泵在正常情况下抽速非常快，一般 30秒即可达到钨灯丝电镜需要高真空，保险起见或者获得更高的真空，一般延时个1-2分钟，所以正常更换样品一般设定在5分钟左右。如果真空计故障，在实际未到DP启动时机而启动了DP,DP很“生气”后果很严重。现在DP效率不够，高真空度达不到。所以你的灯丝在低的真空度下断的很快，栅帽黑色是返油污染的证据。
楼主需要联系JEOL的售后，来给你预算维修费用，你们自己手里的器件工具可能都不全，知道故障所在就行了。如果JEOL的报价太高，楼主可以联系驰奔，让我们来测算一下费用。
还有就是现在拍的图像也不清楚，4000倍的时候就已经开始模糊了，有时候还会有波纹，这个怎么调节啊?
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楼主应该和JEOL专修帖那发的是一回事吧，驰奔不方便在那回复。
真空污染对电子光学性能影响非常大，污染象散就不说了，我的经验，一般5000倍象散消不去，就要考虑清洗镜筒。现在的大部分进口扫描电镜很多都设计成“懒人模式”，直接换光阑衬管，预对中灯丝直接换栅帽，不过这要是污染严重可换不起，例如国产扫描电镜，还是要分解成最基本的元件来进行清洗。其实清洗镜筒和过去修个自行车换个轴承钢珠、轴瓦、补个轮胎难度相当，只不过需要更清洁，更精细。现在去修车要换就是一套组件，扫描电镜维护基本也形成这个趋势，用户和厂商没时间给你分解到元件，三下五除二搞定,厂商用户皆大欢喜的好事。
图像波纹，实际是加速电压纹波或者说电子枪纹波造成的，你的栅帽和灯丝座都是沉积碳氢化物，导电性不好，也导电，造成电子枪饱和度稳定性变差，终归是真空污染的问题。
