透射电镜之家

对于选区电子衍射（SAED）来说，其中对于衍射斑的聚焦这一步操作，我目前看到的就有两个版本：
第一种是写的最多的：将感兴趣区移至中央，加入选区光栏套住所选区域，调节Brightness使光斑散开至最大，按DIFF钮进入衍射模式，然后调节DIFF FOCUS使透射斑聚焦（最小最敏锐），拍照。
第二种方法：先加入选区光栏套住所选区，按DIFF钮进入衍射模式，然后加入物镜光栏，调节DIFF FOCUS使物镜光栏边缘最清楚，调节Brightness使透射斑聚焦（最小最敏锐），最后撤掉物镜光栏，拍照。这一过程中加入物镜光栏的作用是辅助聚焦。
似乎大多人一般都用第一种方法，但是这一过程中调节Brightness使光斑散开最大的做法，我一直没理解其目的。而我更倾向于第二种，因为物镜光栏所在的位置正好是物镜的后焦面，而衍射模式下，调节DIFF FOUCUS即调节中间镜的电流，使其物平面正好和物镜的后焦面重合。所以我觉得加入物镜光栏辅助聚焦是有道理的。
今天日电的工程师来了，问他这个问题，他说第二种方法肯定是错的，可是又一时没说出理由。在这里请教一下各位，你们是怎么认为的呢？

我知道用一些老电镜要求调三面共面，比如JEOL的100CX，即物镜的像平面、选区光阑平面和中间镜的物平面在同一平面上。这时候需要在成像模式下加入选区光阑，调整物镜电流使选区光阑边缘清晰，调整物镜电流使像清晰。你说的第二种聚焦方法还真没听说过，仔细想想也有道理，但我觉得“调DIFF FOCUS使物镜光栏边缘最清楚”这一步和第一种的方法的“调节DIFF FOCUS使透射斑会聚到最小”是一个目的，都是使物镜的后焦面和中间镜的重合。
调节Brightness使光斑散开的目的就是使光变弱，只有这样才能将斑点聚得更小，而且斑点以外的区域比较黑，拍出来的衍射花样才漂亮。

第一种方法基本正确。但是要注意，很多情况下，并不是brightness强度越小越好，而是应先切换成衍射模式下，调整brightness看衍射斑达到最小。调节brightness的目的是使入射光平行样品入射。因此某些时候，brightness在一定强度时是平行光，继续减弱又不平行了。在调整brightness使衍射斑最小的情况下，继续调整diffraction focus,直至衍射点最小。
第二种方法，因为物镜光阑不一定和物镜后焦面完全重合。因为物镜光阑的位置是固定的，但是物镜电流强度可调，所以很难说物镜光阑平面就是物镜后焦面。再一点，就是很多新型透镜，装的不是物镜光阑，而是在靠近物镜后焦面的位置装上High contrast aperture.这时离物镜后焦面更远了。
templus

你好，我是个新手，刚刚从百度上搜出来了这个帖子，但是，对于你的回答，有几个地方我有些疑问：
1，“调整brightness看衍射斑达到最小”为什么不是透射斑？
2，“入射光平行样品入射”还是平行入射样品？
谢谢！

嗯，了解了。JEOL现在很少推物镜光阑，第二种看来可以废掉。

应该用第二种方法， 理论上来说一台标准的电镜物镜光栏是在背焦面上的， 只有当diff pattern 聚焦在BFP标定才是准确的，不然会使DP的标定不准确

还有就是调brightness其实是要入射光平行， 只有平行的入射光才会使diff pattern 便点 而不是衍射斑

不过JEOL多数的电镜现在用的是高衬度光阑，而不是物镜光阑，所以......