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标题:【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS

燕子@[使用道具]
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发表于 2015-6-12 10:36 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS

检测薄膜中的微量元素除了用XPS，还能用什么检测手段？
如题~~
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大大[使用道具]
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发表于 2015-6-12 10:36 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

扫描电镜或者透射电镜的能谱。
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冰激凌[使用道具]
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发表于 2015-6-12 10:37 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

轻元素，微量，EDS能测出来吗？
由于是薄膜，如果做TEM的话基底的影响可能会比较大吧？而且基底也有同种元素，仍然可以用TEM的能谱测吗？
谢谢~
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发表于 2015-6-12 10:37 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

卢瑟福背散射，中子衍射。。。。很多啊
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发表于 2015-6-12 10:38 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

EDS如果量很少的话是测不出来的，并且轻元素也是测得相当不准的。
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发表于 2015-6-12 10:39 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

如果就单单扫描不同杂化的碳，还有什么检测手段啊，新手上路，
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