透射电镜之家

现在文献里经常能碰到STEM，论坛上也经常看见各位DX提到STEM。心中一直有个疑问，究竟STEM和TEM有没有差别？原理上的，硬件上的是否有差别？记得当年我们这边TEM招标的时候JEOL提到了STEM附件，难道STEM与TEM差别仅在安装了一个附件上？但是许多文献里的STEM却基本上都是专门的电镜型号（有些既不是FEI也不是JEOL的），到底是为什么？STEM的分辨率比设备的点分辨率还要高？STEM是不是只能配场发射枪？各位DX有了解的欢迎跟我详细说说，多谢了！

简单来说，STEM=TEM+SEM，呵呵。你google一下scanning transmission electron microscopy就可以得到很好的解释了。你所看到的文献里面的STEM可能是Nion的，或者是VG的，是专门生产STEM的厂家（VG已经不生产了）

回楼上的兄台，别说，真见过VG的，不知道什么性能啊。

两者制样要求基本相同，具体的看实验目的~

光是VG不值钱，需要有nion 的Cs corrector在上面，分辨率可以到0.8A左右，100kv 的cold feg。

那天无意间看到一篇论文，日本科研人员已经把分辨率提高60多个pm了，很震撼了。

前几天杭州开会貌似有人做到了40-50 pm

我想，STEM应该就是在TEM基础上具有了扫描的功能。不过它好像可以用于Z-衬度成像

我只是纳闷为什么做到最高分辨率的都是STEM而不是TEM，有的还是用HAADF像得到的最高分辨图像，而不是普通高分辨像。