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标题:【求助】本人做扫描电镜想用单晶抛光硅片做支撑料

wawa11[使用道具]
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【求助】本人做扫描电镜想用单晶抛光硅片做支撑料

本人做扫描电镜想用单晶抛光硅片做支撑料,不知道该购买具体什么型号的硅片,想问问大家。
如:
直径(这个无所谓)
单面抛光(这个必须的)
电阻率:(这个不清楚应该是多少,应该是越小越好吧?)
晶型:P型还是N型?晶面?
厚度:?
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qinqinai[使用道具]
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【回复】

单晶硅片参数
生长方法 直拉CZ
直径与公差 (mm) 150.0 ± 0.2
型号/掺杂剂 P型/硼
            N型/磷、砷、锑
晶向 <100> / <111>
电阻率 (Ω.cm) 0.003-50
径向电阻率变化 (%) P< 6
                            N< 25
氧含量与公差  5.0-7.8 × ± 0.5
径向氧含量变化 (%) < 5
碳含量 (at ) ≤ 2.0×
金属铁含量 (at ) ≤ 1.0×
表面金属 (at) 铜 / 铬 / 铁 / 镍 ≤ 5.0×
铝 / 锌 / 钾 / 钠 / 钙 ≤ 2.0×
厚度 (微米) 按SEMI标准或用户要求
厚度公差 (微米) ±15或用户要求
总厚度变化 TTV (微米) < 2.5
平整度 TIR (微米) < 1.2
局部平整度 STIRmax (微米) < 0.3
翘曲度 (微米) < 30
颗粒 (# per wafer) < 30 (for size > 0.2 微米)  
编号 规格
BZ3012      2英寸
BZ3013      3英寸
BZ3014      4英寸
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mimima[使用道具]
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【回复】

其实硅片只是个载体,就是有电阻也没什么,使用之前一般是要喷金的。
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大大[使用道具]
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【回复】

如果样品是粉体,弄很少量在硅片上,SEM前也要喷金么?
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qinqinai[使用道具]
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【回复】

关键是看你的样品的导电性,要是金属粉末就不用喷金,要是导电性不是很好,就需要喷金。
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p1900[使用道具]
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【回复】

再问,这样的硅片做过SEM后是否可以清洗后重复利用,我做ZnO,可能要喷金。
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双子座[使用道具]
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【回复】

ZNO应该不用喷金。直接看,非得在硅片上干嘛呢?
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qinqinai[使用道具]
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【回复】

氧化锌是量子点,属于半导体材料,但是一般要是想看SEM还是需要喷金的,效果会好一些,再有不在硅片上,应该在什么上?
金片?
直接看,是指的什么》?
没有载体的话,看到的杂质和量子点怎么区分?
硅片每次只用一点点,可以洗洗在用,但是没这必要,呵呵。
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PP熊[使用道具]
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【回复】

像楼上这种明显是广告的东西山羊兄居然也给金币?
而其此贴具老,又答非所问,莫非....
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yuanyuan[使用道具]
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【回复】

亲,能不能请教下单晶硅片在用完之后怎么清洗,在网上找了找也没有找到什么好的方法。我刚买了单晶硅片,在用之前需要清洗莫???
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