小中大 请问各位版友，涡轮泵的扇叶是打到哪里了吗？怎么会打成这样？惨不忍睹啊！真空仓里面的金属粉应该是扇叶上磨出来的吧？仪器上次维护清洗离子源是去年的12月底，期间一直正常使用没什么问题，怎么突然就这样了？
现在情况是这样的，我把真空仓清理干净试着重新开机，前级泵运行正常能把侧板吸住，仪器也有自检（嘀一声），但是涡轮泵没有运转，速度一直都是0.1，然后大概5分钟之后，涡轮泵长时间没有启动，仪器自动把前级泵也关闭了。这种情况感觉涡轮泵应该是挂彩了吧，下午联系了安捷伦的工程师也说可能是涡轮泵坏了，请大家帮忙分析一下故障的原因吧，仪器应该是06-08年买的（具体记不清了），期间也没坏过什么部件。前级泵和涡轮泵都是普发的，上一张涡轮泵外观图
还有联系了安捷伦维修报价，G3170-67000 New-HiPACE 80 Turbo Pump Service Kit 3万3千多（不含税），这个价格怎样，有没有被坑了？
