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标题:【求助】扫描电镜能谱成分分析

zouyou[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:19 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】扫描电镜能谱成分分析

大家认为SEM-EDS打点分析的AT%和Weight% 结果可信度有多大，或者说是准确度，我感觉人为因素影响很大！
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jishiben[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:19 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

不怕打击你的！EDS只能用作定性的分析吧！其实定性分析俺也不很相信，因为操作者的影响很大啊！只能作为初步判断的依据……
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无怨无悔[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:20 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

只要在制样过程中对于样子清洗干净（用电磁振动），对于成分分析的可信度是很高的。只不高（过）只是不能完全代表全部，因为只是微区的探测。
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今生如此[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:20 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

:shuai:不敢苟同这观点啊！据俺操作时得出的经验，有些元素是可以随意添加的！只是俺从没这么干过
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大花猫bb[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:21 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

SEM能谱的束斑一般是微米级（我们这边2μm左右的样子）的吧
所以要看这个选区的大小了
像有些小的结构（如纳米级的）的结果
只能参考下
另外一些小原子量的也不太准
当然 你的选区清洁情况至关重要
总之  EDS是半定量的手段
目前这个元素分析更准确的手段
应该可以采用原子探针相关手段
但不是很普遍
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zouyou[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:21 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

只能说EDS分析和XRD中的定量分析（K值法等）一样都是半定量的只能作参考  不能说准确   还有做EDS的时候往往会根据你自身材料的大概成分去确定  因为能谱分析的时候有些元素出现峰位相差很近  机器本身有时候是区分不清的   这就要我们人为的标峰  所以说对于人为处理是可以的  只要不是没有峰位强制标出来还是可以接受的  还有就是做EDS的时候一定要保证试样面干净  尤其是别手接触  不然会打出Na和Cl
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大花猫bb[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:22 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

只是有时候用面扫或是线扫来说明一些问题而已！EDS只是作为辅助的判断而已！
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yuanyuan[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:23 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

EDS是半定量分析，误差一般在5%~10%左右，是自动判断出元素后需要根据样品，人为的添加或去除某些不可能存在的元素，如果元素一点都没有显示也是0.这个还是具有一点的参考值
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发表于 2015-7-29 17:24 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

不是随意添加不添加的问题。每个元素都有对应的峰，没有峰的元素你就算添加进去了，也还是没有峰。明眼人一眼就看出来了
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大大[使用道具]
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发表于 2015-7-29 17:24 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

EDS的结果其实是具有很高的可信度！但是由于各种原因，干扰的因素也有很多，因此需要实验分析人员对所测样品具有足够的基础知识，另外还要注意样品的清洁！比如不要用手触碰，否则容易导入手上油脂中的C等元素，另外对于O元素也是常常误标的，而且对于H等轻元素识别效果不好，如果你对这些都有了解，会有助于你自己的分析！
见过很多国外文章用EDS作为依据的。客观的说，对于普通的操作者而言，如果没有足够的知识储备和信心，建议还是将EDS作为辅助判定手段！
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