小中大【转载】【求助】EDS如何半定量或者定量分析?
大家好,以前我国外作,他们的TEM能谱都已经标定好,软件作出的结果可信。
最近我国内作TEM/EDS,能谱图看起还不错,但是计算的定量或半定量结果,可信度很低。
我用的镀碳的TEM膜,分析C以上的无机元素。结果C和O的占到总量的90%左右,但是能谱后面的S峰或者Fe都很高啊。
但是他们计算出来很小,甚至小于1%。这种结果认人无法接受。
我目前用的EDAX软件是INCA. 一般电镜别人很少用EDS,所以那边管理人员也不管标定什么的。
这种情况我如何办。或者大家的电镜是如何标定的呢?
我目前手上买的标准的Al样品。能否用标定。
我知道SEM/EDS如何标定,TEM/EDS我不太清楚啊。
知道的,能否过来讨论一下。THANKS。