透射电镜之家

这三种分辨率的定义和区别是什么，如何实际测量这三个参数，特别是在TEM验收时如何来测评？谢谢。

点分辨率—表示电镜所能分辨的两点之间的最小距离；
线分辨率—表示电镜所能分辨的两条线之间的最小距离，通常通过拍摄已知晶体的晶格像来测定，又称晶格分辨率。
点分辨率不是限制最小能观察到细节的因素.
比点分辨率更高的信息,可通过高频端的平台传递到图像，
但并不是任何空间频率都可以通过改变离焦量来实现最佳的传递，
衬度传递函数之上总是有一衰减包络.该衰减包络主要由光源的部分相干性而定，
信息极限：定义为衰减包络衰减到一定的数值，此后的信息被认定不会再被传递。
信息分辨率 ：振幅衰减到37％的分辨极限标线与衰减包络函数曲线的最远交点规定为透射电镜的信息分辨率。
在验收时，通常使用金标样和单晶硅来标定点分辨率、晶格分辨率和信息分辨率。
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验收时，信息分辨是怎么测量的？它对高分辨照片究竟是怎样的影响？

求解答信息分辨率的意义所在。
拍法很简单，找grating非晶膜处，pla振动或样品震动，实在不会就用DM拍两次不同位置的（X/Y方向移动一点）图片再a+b叠加图像。在做fft后非晶圆面上会出现一组横纹，倒异空间里能观察到的两边横纹间的距离/2，就是空间分辨率。
不过不理解这么拍的意义是什么，可有大神解惑？
感激不尽。

点分辨率和晶格分辨率都好理解，就是不懂信息分辨率的含义。谁能解释一下就好了